RFプラズマ発生装置市場の国内外企業は、COVID-19発生の影響に対応するため、サプライチェーンの計画、運用、在庫管理などを急速にシフトしている最中である。RFプラズマ発生装置では、高出力と再現性の高い性能が好まれます。しかし、メーカーは、制御の最適化や同期化などの高度な機能を備えた発電機への需要に応える必要があります。これを実現するために、メーカーは、最終用途のケースで信頼性の高い動作を保証するために、RFジェネレーターの内部保護限界の研究開発を増やす必要があります。また、フルデジタル制御やリアルタイムの電力測定機能を備えた発電機の利用可能性を高めています。次世代RFプラズマジェネレーターは、プラズマの変化に素早く対応するのに役立ちます。
経済的な中周波のRF（高周波）プラズマ発生装置は、プラズマ処理の状況を一変させています。コンパクトな設計と柔軟な通信プロトコルに対する要求が高まっているのです。これは、RFプラズマジェネレータ市場が2021年から2031年の間に著しいCAGRで進むと予測される理由を説明しています。
メーカーは、スパッタリング、プラズマ蒸着、表面処理などの半導体および一般的なプラズマ処理アプリケーションに最適な、汎用的で可変周波数のRFプラズマジェネレーターを革新しています。また、コンパクトでラックマウント可能な空冷式パッケージが増加し、省スペース化にも貢献しています。また、市販されている中で最も低い反射電力を実現する発電機も開発されています。
RFプラズマ発生器市場は、現在進行中のCOVID-19の流行により、顧客の需要、材料の供給、物流サービスの利用不可能性などの面で混乱が発生しています。半導体デバイスや電子機器の製造に必要なチップの不足は、収益源に影響を及ぼしています。しかしながら、市場参加者は、RFプラズマジェネレーターの価格競争力を高め、進行中のパンデミックにおける不安定な需要と供給動向に適応するために生産活動を再調整しています。
RFプラズマ発生装置市場は、エレクトロニクス、エネルギー・電力、半導体などの最終市場の開拓により、企業の成長が回復すると予想されています。また、出荷台数の増加に伴う発電機の輸出入の増加も、市場の成長を後押しすると予想されます。
RFプラズマジェネレーター市場は、設定、制御、アプリケーションの要件に応じた独自の機能を備えたシステムの利用が可能になり、変貌を遂げつつあります。しかし、限られたスペースでも性能を発揮できるシステムに対するニーズがあります。そのため、各メーカーは、要求の厳しいアプリケーションに対応するため、さまざまな取り付けオプションや出力を持つ発電機の開発にしのぎを削っています。次世代のRFプラズマ発生装置では、チャンバー型、ラック型、フレーム型のマウントオプションが注目されています。
RFプラズマ発生装置市場の企業は、アーク管理を強化したシステムを開発しています。また、さまざまなプロセス要件に応じて簡単にカスタマイズし、構成することができる発電機の技術革新も進んでいます。メーカーは、コンパクトな設備に使用できる高出力密度RFプラズマ発生装置の生産を増やしています。
半導体アプリケーションは、RFプラズマ発生装置市場の企業にとって安定した収入源となっています。半導体産業では、プラズマ化学気相成長法（PECVD）と高密度プラズマ化学気相成長法（HDPCVD）の応用が顕著になってきています。
RFプラズマ発生装置の主な用途の1つは、集積回路やチップを製造するための半導体製造に見られるものです。一方、化学気相成長法（CVD）は、二酸化ケイ素や窒化ケイ素などの誘電体膜を蒸着して電気機器を製造するために、これらの装置の需要を後押ししている。一方、プラズマエンハンスト原子層蒸着法（PEALD）は、比較的低温で超薄膜かつ均一な膜を形成するために、高精度で材料を蒸着するために使用されます。
RFプラズマ発生装置市場のメーカーは、コアプラズマ用途のシステムにおいて、業界をリードする再現性の高い電力供給に関する研究開発を強化しています。これらの発電機は、エンドユーザーが操作の柔軟性に新たな焦点を当てたプロセス開発を進める上で役立っています。メーカーは、最終用途で広い周波数と出力範囲を提供するRFジェネレーターの生産を強化しています。また、複数の統合シナリオをサポートし、標準的なシリアルまたはアナログ・インターフェースを備えた発電機に対する需要も高まっています。
最先端の RF 発振器は、高アスペクト比デバイスに必要な高いプラズマ密度とイオンエネルギーを提供し、半導体プロセス装置の次のノードに向けたプロセスを高速化します。また、デジタル・アーキテクチャを採用することで、正確なパワーマネジメントを実現し、新機能の統合を効率化します。
RFプラズマ発生装置の市場 概要
Transparency Market Research社の調査レポート「過去期間2017-2019年と予測期間2021-2031年のRFプラズマ発生器の世界市場」によると、より良い視聴体験のためのフラットパネルディスプレイの需要増加と高スループット太陽電池成膜のためのPECVD技術の採用増加が、予測期間中のRFプラズマ発生器の世界市場を押し上げる見込みであるとされている
フラットパネルディスプレイ（FPD）は、携帯電話、ノートパソコン、デスクトップパソコン用モニター、テレビなどで幅広く利用されています。液晶ディスプレイ（LCD）、プラズマディスプレイパネル（PDP）、発光ダイオード（LED）、有機発光素子（OLED）、フィールドエミッションディスプレイ（FED）など、いくつかのディスプレイ技術がFPD用に開発されています。
インタラクティブ・フラット・パネル・ディスプレイのようなFPDの技術的進歩は、FPDの需要を促進している。これらのインタラクティブフラットパネルディスプレイは、インタラクティブなホワイトボード、ビデオ会議、画面共有アプリケーション向けに設計されており、教育や企業コラボレーションなどのアプリケーションで幅広く活用されています。
RFプラズマ発生装置は、要求の高い薄膜処理用途で低コストかつ高歩留まりで利用されており、プラズマエンハンスト化学蒸着（PECVD）、高密度プラズマCVD（HDPCVD）、エッチング、フラットパネルディスプレイ製造中のその他の薄膜用途に適している。
大型液晶テレビの普及、スマートフォンの大画面化、車載用ディスプレイの急増などが、フラットパネルディスプレイ、ひいてはRFプラズマ発生装置の需要を押し上げる要因となっています。また、画質向上のための次世代ディスプレイ技術への取り組みが各社で進められています。また、医療分野では、より優れた表示画像技術を提供する先進的なフラットパネルディスプレイの採用が、FPD、ひいてはRFプラズマジェネレータの需要を押し上げています。
環境保護の観点から再生可能エネルギーの導入が進み、電力需要が増加していることが、太陽電池の需要に拍車をかけています。また、太陽電池の製造コスト削減や性能向上を目的とした技術開発も数多く行われています。各地域の政府は、太陽光発電プロジェクトにグリッド接続の利便性を提供するための政策策定に向けて継続的に取り組んでいます。中国、カナダ、米国、フランスなどの国々は、太陽光発電の利用を積極的に推進しています。
例えば、2019年7月、カナダ政府は最大218Mn米ドルを交付する気候行動奨励基金（CAIF）を立ち上げました。対象となる受給者は、エネルギー使用量を減らし、コストと炭素汚染を削減するプロジェクトに対する資金提供の恩恵を受けることができます。このような取り組みにより、世界中で太陽電池の普及が進んでいます。
PECVDは、太陽電池のパッシベーションと反射防止膜の業界標準であり、主要な技術です。この技術は、高い処理能力、優れたプロセス性能、最小の総所有コストを提供します。均一な膜厚と膜表面の微細構造を持つ薄膜シリコン太陽電池のPECVDは、光の捕捉を最適化します。そのため、太陽電池の成膜に広く利用されています。
化石燃料への依存を減らすため、クリーンで信頼性が高く、環境に優しいエネルギー源の需要が増加していることから、太陽電池の需要が促進され、その結果、今後数年間、RFプラズマ発生装置市場を牽引するものと期待されている。
RFプラズマ発生装置市場 競争環境
RFプラズマジェネレーターのプロバイダーの詳細なプロフィールは、財務、主要製品提供、最近の開発、および戦略を評価するために報告書で提供されています。
RFプラズマ発生器の世界市場で活動する主な企業は以下の通りです。
アドテックプラズマテクノロジー株式会社（ADTEC Plasma Technology Co.
アドバンスト・エナジー・インダストリーズ社
コメットグループ
株式会社京三電機製作所
MKS Instruments, Inc.
ニューパワープラズマ(株)
プラズマバキュームソリューションズ
株式会社T&Cパワーコンバージョン
TRUMPFグループ
XPパワー
PVA TePla AG
DKK株式会社
Advanced Energy Industries, Inc.、Comet Group、XP Power、MKS Instruments, Inc.などのRFプラズマジェネレーターの主要プロバイダーは、より多くの顧客を引き付けるために、費用対効果の高いRFプラズマジェネレーター製品の設計に注力しています。RFプラズマジェネレーターの世界市場におけるその他の主要な動向は、以下の通りです。
2021年12月、Advanced Energy Industries, Inc.は、Advanced EnergyによるPower Insight組み込みプロセス最適化ソフトウェアと電力および制御機能を統合した10 kWパルスDC電源でプラズマ発電機ファミリーを拡大しました
2021年1月、Advanced Energy Inc.は、新しいParamount HP 10013発電機を導入し、Paramount RF（高周波）発電機製品ファミリーを拡大しました。この装置は、半導体＆産業用薄膜アプリケーション向けに特別に設計されたもので、導体エッチング、誘電体エッチング、蒸着、スパッタリング、イオン注入などのプラズマアプリケーション用の電力供給システムなどが含まれます。新製品の導入は、製品ポートフォリオを拡大し、市場での競争力を獲得することに貢献しました。
2017年10月、XP Powerは、米国マサチューセッツ州を拠点とする無線周波数（RF）電源の設計・製造会社であるComdel Inc.の事業と資産を買収しました。この取引の評価額は約23Mn米ドルであった。この買収により、XPパワーは、AC-DCおよびDC-DC電源の幅広い製品群を補完し、RF電源の製品群を拡大することができました。両社は、特に半導体装置分野で複数の顧客を共有していました。XPパワーは現在、サプライチェーンを合理化し、より多くの要件を1つの供給元から提供することで、これらの顧客を支援しています。
RFプラズマ発生装置の世界市場レポートでは、個々の戦略について説明し、次にRFプラズマ発生装置製品のプロバイダーの企業プロファイルを掲載しました。また、「競争環境」セクションを設け、世界のRFプラズマ発生器市場で活動する主要企業のダッシュボードビューと企業シェア分析を読者に提供しています。
【目次】
1. はじめに
1.1. 市場紹介
1.2. 市場とセグメントの定義
1.3. 市場の分類
1.4. 調査方法
1.5. 前提条件と頭字語
2. エグゼクティブサマリー
2.1. RFプラズマ発生装置の世界市場分析と予測
2.2. 地域別概要
2.3. 市場ダイナミクスのスナップショット
2.4. 競争の青写真
3. マーケットダイナミクス
3.1. マクロ経済要因
3.2. 主な市場指標
3.3. ドライバ
3.3.1. 経済ドライバー
3.3.2. サプライサイドドライバー
3.3.3. 需要サイドのドライバー
3.4. 市場の抑制要因と機会
3.5. 市場動向
3.5.1. 需要サイド
3.5.2. 供給サイド
3.6. 規制の枠組み
4. 関連産業と主要指標評価
4.1. 親産業の概要 – 半導体製造装置産業の概要
4.2. サプライチェーン分析
4.3. 技術ロードマップ分析
4.4. 産業SWOT分析
4.5. ポーターファイブフォース分析
4.6. COVID-19影響度分析
5. RFプラズマジェネレータの世界市場分析（周波数別
5.1. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析および予測、周波数別、2017年～2031年
5.1.1. 400kHz – 2MHz
5.1.2. 2MHz〜13.56MHz
5.1.3. 13.56MHz 超
5.2. 市場魅力度分析、周波数別
6. RFプラズマジェネレーターの世界市場分析、用途別
6.1. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析と予測、用途別、2017年～2031年
6.1.1. 集積回路
6.1.2. フラットパネルディスプレイ
6.1.3. 太陽光発電
6.1.4. 工業用コーティング
6.1.5. その他(データストレージ、LEDなど)
6.2. 市場魅力度分析、用途別
7. RFプラズマジェネレータの世界市場分析（最終用途産業別
7.1. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析および予測、最終使用産業別、2017年～2031年
7.1.1. エレクトロニクス・半導体
7.1.2. 産業用
7.1.3. エネルギー・電力
7.2. 市場魅力度分析、最終用途産業別
8. RFプラズマ発生装置の世界市場分析・予測、地域別
8.1. RFプラズマジェネレータの地域別市場規模（US$ Mn）分析・予測、2017年～2031年
8.1.1. 北アメリカ
8.1.2. ヨーロッパ
8.1.3. アジア太平洋
8.1.4. 中東・アフリカ
8.1.5. 南米
8.2. 市場魅力度分析（地域別
9. 北米RFプラズマジェネレーターの市場分析・予測
9.1. 市場スナップショット
9.2. 地域別概要
9.3. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析および予測、周波数別、2017年～2031年
9.3.1. 400kHz – 2MHz
9.3.2. 2MHz – 13.56MHz
9.3.3. 13.56MHz以上
9.4. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析と予測、用途別、2017年～2031年
9.4.1. 集積回路
9.4.2. フラットパネルディスプレイ
9.4.3. 太陽光発電
9.4.4. 工業用コーティング
9.4.5. その他(データストレージ、LEDなど)
9.5. RFプラズマ発生器の市場規模（US$ Mn）分析および予測、最終用途産業別、2017年～2031年
9.5.1. エレクトロニクス・半導体
9.5.2. 産業用
9.5.3. エネルギー・電力
9.6. RFプラズマ発生装置市場規模（US$ Mn）分析および予測、国・小地域別、2017年～2031年
9.6.1. 米国
9.6.2. カナダ
9.6.3. その他の北米地域
9.7. 市場魅力度分析
9.7.1. 周波数別
9.7.2. アプリケーション別
9.7.3. 最終使用産業別
9.7.4. 国・地域別
10. ヨーロッパRFプラズマジェネレーターの市場分析と予測
10.1. 市場スナップショット
10.2. 地域別概要
10.3. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析および予測、周波数別、2017年～2031年
10.3.1. 400kHz – 2MHz
10.3.2. 2MHz – 13.56MHz
10.3.3. 13.56MHz以上
10.4. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析と予測、用途別、2017年～2031年
10.4.1. 集積回路
10.4.2. フラットパネルディスプレイ
10.4.3. 太陽光発電
10.4.4. 工業用コーティング
10.4.5. その他 (データストレージ、LEDなど)
10.5. RFプラズマ発生装置の市場規模（US$ Mn）分析と予測、最終用途産業別、2017年～2031年
10.5.1. 電子・半導体
10.5.2. 工業用
10.5.3. エネルギー・電力
10.6. RFプラズマジェネレータ市場規模（US$ Mn）分析および予測、国別および小地域別、2017年～2031年
10.6.1. U.K.
10.6.2. ドイツ
10.6.3. フランス
10.6.4. その他の欧州
10.7. 市場魅力度分析
10.7.1. 周波数別
10.7.2. アプリケーション別
10.7.3. 最終使用産業別
10.7.4. 国・地域別
11. アジア太平洋地域のRFプラズマ発生装置市場の分析・予測
11.1. 市場スナップショット
11.2. 地域別概要
11.3. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析および予測、周波数別、2017年～2031年
11.3.1. 400kHz – 2MHz
11.3.2. 2MHz – 13.56MHz
11.3.3. 13.56MHz以上
11.4. RFプラズマジェネレータの市場規模（US$ Mn）分析と予測、用途別、2017年～2031年
11.4.1. 集積回路
11.4.2. フラットパネルディスプレイ
11.4.3. 太陽光発電
11.4.4. 工業用コーティング
11.4.5. その他 (データストレージ、LEDなど)
11.5. RFプラズマ発生装置の市場規模（US$ Mn）分析と予測、最終用途産業別、2017年～2031年
11.5.1. エレクトロニクス・半導体
11.5.2. 産業用
11.5.3. エネルギー・電力
11.6. RFプラズマ発生装置市場規模（US$ Mn）分析と予測、国別・小地域別、2017年〜2031年
11.6.1. 台湾
11.6.2. 中国
11.6.3. 韓国
11.6.4. 日本
11.6.5. その他のアジア太平洋地域
11.7. 市場魅力度分析
11.7.1. 周波数別
11.7.2. アプリケーション別
11.7.3. 最終使用産業別
11.7.4. 国・地域別
…
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